貨號 | 操作 | 名稱 | 描述 |
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圖片 | 名稱 | 貨號貨期 | 描述 | 價(jià)格 |
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基于激光的觀測系統(tǒng),專門設(shè)計(jì)用于顯示基于電介質(zhì)/壓電的高頻設(shè)備的表面聲波 surface acoustic wave(SAW)和體聲波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW濾波器(Interdigital Transducer 叉指換能器 IDT)和薄膜體聲波諧振器(FBAR)
適用于不同頻率下物理聲波傳播的分析
短時(shí)間廣域觀測
圖像 FFT & IFFT 處理
觀察示例
IDT
FBAR
參數(shù)
振動檢測方法 | 基于Sagnac干涉儀的振動檢測(峰值頻率靈敏度:5GHz) |
振動觀察法 | 用激光光束探測的臺控掃描觀測(面外振動) |
觀測光源 | 二極管激光器(波長:650nm典型),照明LED |
可用物鏡 | ×20、×50、×100 物鏡 |
可觀察到的頻率 | 500MHz ~ 6GHz (Typ.) |
驅(qū)動信號輸入范圍*1 | 500MHz~6GHz (-120dBM~+15dBM) *2 |
Max. 可分析區(qū)域 | 25mm × 25mm |
容許工作量 | Max. 8英寸晶圓片 |
樣品臺 | 電動X-Y型載物臺 |
主要軟件功能 | 基于采樣階段控制的預(yù)設(shè)區(qū)域掃描觀測 |
2維 ? 3維觀察結(jié)果指示(in Movie) | |
二維FFT?FFT圖象處理 | |
基于FFT結(jié)果的特定振動共振模式濾波 | |
面外軸傾角校正 | |
基于預(yù)設(shè)頻率表的連續(xù)數(shù)據(jù)采集 | |
構(gòu)造 | 主體/電氣單元/信號發(fā)生器/鎖相放大器/級驅(qū)動器/ PC /軟件 |
*1 提供高頻探測裝置。(手動探測) *2 提供輸入信號放大器。 |