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Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1nm重復(fù)精度 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)  

Fiz3D 面型干涉儀 (VICT技術(shù) 1nm重復(fù)精度 1秒測量0.6米工件 觸摸屏操作)
面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動免疫) 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環(huán)境下工作”的認(rèn)知。


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面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波谷處的振動免疫) 打破了“干涉儀非常容易受到干擾、要在十分精密的環(huán)境下工作”的認(rèn)知。


產(chǎn)品特點(diǎn)

30 納米 jue對精度,1nm重復(fù)精度 

0.6 米直徑工件, 僅需 1 秒測量

表面形貌 3D 成像

全新的觸摸屏操作模式,Victsin 測量軟件,現(xiàn)已支持Windows11

自動調(diào)平選件,讓全自動測量成為現(xiàn)實(shí)

成盤測量選件 實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程控制

一臺機(jī)器可測量多種工件 通過更換不同的鏡頭 平面、凹面、凸面…

通用參數(shù)

能夠測量的工件 

直徑 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三維成像

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通過光路擴(kuò)展,  測量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

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通過CGH補(bǔ)償器, 測量復(fù)雜曲面

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黑色或透明工件, 仍然能夠測量

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適合半導(dǎo)體應(yīng)用的MST(多表面測量) 一次采集, 同時完成上表面、下表面、厚度的計量。

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適合半導(dǎo)體應(yīng)用的jue對測距干涉,量程 > 100 μm 可進(jìn)行臺階、翹曲度、熱變形的測量。

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出色的動態(tài)范圍, 超過100條干涉條紋, 仍然可以分析。

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將 FEA(有限元分析)引入干涉儀結(jié)構(gòu)設(shè)計

根據(jù)文獻(xiàn), 干涉計算對 0~120 Hz 的振動敏感。 因此, 我們將機(jī)械結(jié)構(gòu)的 7 階模態(tài)設(shè)計到 127 Hz, 大大降低了機(jī)械結(jié)構(gòu)對振動的敏感性

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超高重復(fù)精度

對一片 250mm 直徑的平晶進(jìn)行 1000 次連續(xù)測量。

PV 值的重復(fù)精度為 5.7 納米 (1/111 λ) 

RMS 值的重復(fù)精度為 0.38 納米 (1/1666 λ)

VICT Dop模式,數(shù)據(jù)未經(jīng)人為修改


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三維成像原理

面型干涉是目前最主流的光學(xué)表面計量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路


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VICT 技術(shù)原理

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選件

VICT High 超高精度 測量模式

支持到0.1納米 ( 1/6330 λ)RMS重復(fù)精度 和1納米(1/633 λ)PV重復(fù)精度, 對環(huán)境擾動進(jìn)行建模分析, 包括振動、氣流、光場在內(nèi)的負(fù)面影響排除。

沒有使用多次測量取平均的方法, 不會導(dǎo)致被測物面型被“美化” 。

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VICT Dop 多普勒抗振動測量模式

非常惡劣的工業(yè)環(huán)境下仍正常工作,所有模式中zui高的測量效率, 允許不使用隔振平臺。

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蒙版跟蹤


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超分辨三維圖


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清潔度分析


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基礎(chǔ)配置

主機(jī)型號測量尺寸(圓形-直徑)(注1)立式使用臥式使用
Type100102mmOKOK
Type150152.4 mmOKOK
Type250250mmOKOK
Type340 (注2)340mmOKOK
Type450457.2 mmxOK
Type600609.6 mmxOK
注1:在80%直徑以內(nèi)使用時,可以獲得更好的測量效果。
注2:推薦臥式使用,立式使用時會降低精度。

激光測距點(diǎn)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)692,224
高清2,663,424
高速186,623
超高速692,224

測量激光激光器類型波長(nm)8h波長穩(wěn)定度(nm)(注1)壽命(h)(注2)
穩(wěn)定氦氖632.80.000520,000
穩(wěn)定半導(dǎo)體(注3)6330.0250,000
高效氦氖632.80.120,000
高效半導(dǎo)體(注4)63565,000
注1:在恒溫,隔振的實(shí)驗室測試。
注2:由激光器廠家提供的參考壽命。
注3:推薦用于Vctsin MST
注4:可用于Victsin MST
計算機(jī)CPU獨(dú)立顯卡顯示屏操作系統(tǒng)
Intel 12代i712核心NVIDIA Quadro2k分辨率Win10

測量軟件Victsir軟件模塊掃描方式單平面干涉(注1)雙平面干涉(注2)
Victsin Static (注3)OKX
Victsin PSI壓電振鏡OKX
Victsin MST波長調(diào)諧OKOK
注1:適用于大部分工件。
注2:通常適用于透明工件,同時對上表面,下表面,厚度,進(jìn)行測量。
注3:基礎(chǔ)版本,不推薦用于高精度測量。



測量精度

jue對精度 注1Type 100~250Type 340Type 450~600
PV31.64 nm或1/20λ42.19 nm或1/15 λ63.28 nm或1/10λ
RMS6.328 nm或1/100 λ8.437 nm或1/75λ12.66 nm或1/50 λ
注1:jue對精度被定義為"參考鏡的jue對精度"實(shí)際測量的jue對精度=jue對精度+重復(fù)精度。
注2:波長為測量激光的波長,例如632.8 nm的測量激光,1/20約為31.64 nm,1/15約為42.19nm,1/12約為632.28 nm .
注3:該精度為我們提供的標(biāo)準(zhǔn)平面參考鏡的精度,更高精度需求請聯(lián)系銷售人員。
注4:非平面參考鏡的精度通常低于平面參考鏡,具體數(shù)值請聯(lián)系銷售人員確認(rèn)。

重復(fù)精度VICT-HighVICT-LowVICT-Dop
PV1 nm或1/633 λ3 nm或1/211λ10或1/63λ
RMS0.1nm或1/6330 λ0.3 nm或1/2110 λ1 nm或1/633λ
注1:實(shí)際精度與測量環(huán)境有關(guān),zui高精度與VICT-High相同,表格內(nèi)數(shù)值考慮了輕微的環(huán)境擾動。


PV值是 Peak to Valley (峰值與谷值的差值 )


RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 ),根據(jù)經(jīng)驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀,大多使用PV值來表示。

例如:面型精度的PV值是1/4λ時,表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm


重復(fù)精度定義

連續(xù)100次測量的允差 (95%置信度)


測試環(huán)境

樣品放置于氣浮隔振桌.上,樣品距離參考鏡100mm,光路被遮光罩包裹,房間內(nèi)空調(diào)關(guān)閉,以避免氣流擾動。


被測物

直徑小于參考鏡的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。


可靠性與環(huán)境要求

硬件可靠性平均無故障工作時間>1000小時
平均連續(xù)無故障工作時間>12小時/天
軟件可靠性平均連續(xù)無故障工作時間>12小時/天
對準(zhǔn)角度允差

± 3°

光瞳調(diào)焦范圍≥±1.5米
運(yùn)輸和貯存溫度+10~+40 °c
濕度RH≤60%
工作條件溫度+20~+25℃
溫度變化≤±1℃ @24小時
濕度RH≤50%
電壓AC 220V,50 Hz,1.5kW











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