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LAYERTEC 激光反射鏡 品牌匯總 (高功率轉(zhuǎn)向鏡/掃描鏡/金屬鏡等)  

LAYERTEC 激光反射鏡 品牌匯總 (高功率轉(zhuǎn)向鏡/掃描鏡/金屬鏡等)
反射鏡由基材和反射涂層組成。 根據(jù)應(yīng)用,一個(gè)波長范圍被完全或部分反射。 同時(shí),可以優(yōu)化反射鏡以允許其他波長范圍通過(傳輸)。LAYERTEC 制造不同功率和波長范圍的反射鏡。 我們的核心競爭力是生產(chǎn)具有te別高反射率 (R > 99.999 %)、高損傷閾值 (LIDT) 的光學(xué)干涉涂層,以及修正超短脈沖激光器 (GDD) 中與折射率相關(guān)的傳播時(shí)間差。


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產(chǎn)品型號(hào) 1
貨號(hào) 操作 名稱
A80150733  LAYERTEC 激光掃描鏡 355nm 反射率>99% (用于材料加工)   [PDF] 熔融石英平面鏡; 直徑?:25?mm; 厚度:6.35?mm; S1:無涂層;S2(^): 倒角0.3 HRu(0-45°;350-1100nm);高反射率:>99%     價(jià)格 : ¥0 庫存/貨期:請(qǐng)咨詢客服
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反射鏡由基材和反射涂層組成。 根據(jù)應(yīng)用,一個(gè)波長范圍被完全或部分反射。 同時(shí),可以優(yōu)化反射鏡以允許其他波長范圍通過(傳輸)。

LAYERTEC 制造不同功率和波長范圍的反射鏡。 我們的核心競爭力是生產(chǎn)具有te別高反射率 (R > 99.999 %)、高損傷閾值 (LIDT) 的光學(xué)干涉涂層,以及修正超短脈沖激光器 (GDD) 中與折射率相關(guān)的傳播時(shí)間差。


通用參數(shù)

1.高功率反射鏡



高功率反射鏡必須能夠承受非常高的輻射功率,并且即使在長時(shí)間的照射下也不能遭受任何損壞。 損傷閾值LIDT是光學(xué)器件電阻的基準(zhǔn)。

LIDT 取決于許多參數(shù)。 層特性(例如熱特性、清潔度、帶隙)和基板特性(例如材料、表面質(zhì)量)必須與應(yīng)用參數(shù)(例如波長、脈沖持續(xù)時(shí)間、重復(fù)率、光束直徑、真空與大氣成分)相匹配。

在激光加工過程中,光學(xué)器件受到三種主要破壞機(jī)制的影響:

 

? CW – ns → 由于涂層材料內(nèi)的吸收而導(dǎo)致的熱破壞。

? ns – ~20ps → 由于缺陷吸收而局部加熱。

? ~20ps – fs 或更短→ 電離效應(yīng)破壞。



不同脈沖長度下的主要破壞機(jī)制

我們生產(chǎn)的光學(xué)器件具有非常高的破壞閾值。 技術(shù)報(bào)告中總結(jié)了選定 LAYERTEC 光學(xué)器件已確認(rèn)的破壞閾值。


 

1.1轉(zhuǎn)向鏡

生產(chǎn)過程中(拋光過程)的 45° 橢圓形轉(zhuǎn)向鏡(所謂的“香腸片”)

偏轉(zhuǎn)鏡專門改變?nèi)肷涔獾姆较颉?通過選擇涂層,可以針對(duì)特定波長范圍和特定入射角調(diào)整鏡子的反射率。 此外,鏡子還可以針對(duì)振蕩(偏振)方向和高破壞閾值進(jìn)行優(yōu)化。

LAYERTEC 生產(chǎn)幾乎所有入射角和偏振類型的偏轉(zhuǎn)鏡,無論是針對(duì)一種波長優(yōu)化的布拉格鏡還是寬帶鏡。 例如,根據(jù)要求,可以適應(yīng)高激光功率和/或短脈沖。 此外,還可以計(jì)算涂層在Max. 反射時(shí)的z低損耗或定義的殘余透射率。


高功率反射轉(zhuǎn)向鏡,產(chǎn)品列表210條 點(diǎn)擊查看 (按涂層波長)




1.2諧振器反射鏡

激光諧振腔是激光器的核心。 其中產(chǎn)生激光束。 它由一個(gè)全反射鏡和一個(gè)部分反射鏡組成。 它們之間是有源激光介質(zhì),由泵浦機(jī)制激發(fā)。

端鏡反射光線幾乎 100%。 輸出鏡具有較低的限定反射率,并且從諧振器釋放激光束。 如果端面鏡還充當(dāng)耦合鏡,則它還具有抗反射層以允許泵浦輻射進(jìn)入。

LAYERTEC 為光譜范圍 130 nm – 7 μm 的所有激光器生產(chǎn)諧振鏡。 根據(jù)激光器類型,使用經(jīng)過多年驗(yàn)證的材料組合和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。 除了網(wǎng)上商店的產(chǎn)品之外,還根據(jù)客戶的要求制造個(gè)性化的特殊反射鏡。

 

1.3掃描鏡

掃描鏡用于激光材料加工,使激光束在工件上快速靈活地移動(dòng)。 它們的背面通常被磨成片狀。 由于這種特殊的設(shè)計(jì),它們非常薄且輕,以實(shí)現(xiàn)方向的快速改變。

掃描鏡是 LAYERTEC 產(chǎn)品系列的重要組成部分。 為此目的開發(fā)的層設(shè)計(jì)提供了高性能穩(wěn)定性和必要的反射角不變性。 尤其是金屬基鏡與介電層的組合可增加功率激光器的反射率,從而允許在加工區(qū)域區(qū)域直接成像。

 

掃描鏡7條 點(diǎn)擊查看



1.4準(zhǔn)分子反射鏡

當(dāng)激光器在紫外范圍內(nèi)使用時(shí)(準(zhǔn)分子激光器),光學(xué)器件會(huì)暴露在非常高的能量下。 此外,準(zhǔn)分子激光器以脈沖模式運(yùn)行,并產(chǎn)生具有高峰值強(qiáng)度的極短脈沖。 因此,準(zhǔn)分子光學(xué)器件必須具有高損傷閾值并且耐用。 準(zhǔn)分子激光器是氣體激光器,通常使用氟進(jìn)行操作。 如果光學(xué)器件暴露在工藝氣體中,則基材和涂層也必須基于氟,否則它們會(huì)溶解。

LAYERTEC 生產(chǎn)適用于所有準(zhǔn)分子激光器的光學(xué)器件(F2 激光器 157 nm、ArF 激光器 193 nm、KrF 激光器 248 nm、XeCl 激光器 308 nm、XeF 激光器 351 nm)。 用于氟基激光器的諧振腔鏡和輸出耦合鏡由帶有氟化物涂層的 CaF2 或 MgF2 基板組成,也可直接與激光氣體接觸使用。 輸出耦合鏡的反射率通常高達(dá) R = 50%。 指出反射率的精度為 ±3%。

157 nm 和 193 nm 的偏轉(zhuǎn)鏡也基于 CaF2 基板上的氟化物層系統(tǒng)。 這保證了高損傷閾值和長使用壽命。 波長為 248 nm 的偏轉(zhuǎn)鏡由石英玻璃基板上的 UV 兼容氧化物層系統(tǒng)組成。 光束傳輸光學(xué)器件可設(shè)計(jì)用于任何入射角。 45° 入射角的偏轉(zhuǎn)鏡可作為標(biāo)準(zhǔn)組件提供。

 

1.5中紅外反射鏡

MIR 反射鏡適用于中紅外范圍 (1.5 - 8 μm) 的激光輻射。 這種輻射te別容易被碳?xì)浠衔锖退铡?它主要用于醫(yī)療應(yīng)用和塑料加工。

一方面,中紅外范圍內(nèi)的波長是通過直接激光激發(fā)產(chǎn)生的,波長約為 2 μm(Ho:YAG 激光、Tm:YAG 激光)和 3 μm(Er:YAG 激光)。 另一方面,它們可以通過光學(xué)參量頻率轉(zhuǎn)換(周期性極化鈮酸鋰)產(chǎn)生,沒有直接的激光躍遷。 這種光參量振蕩器的發(fā)射范圍延伸至約 8 μm 的波長。

LAYERTEC 為 MIR 系列生產(chǎn)一系列反射和透射光學(xué)元件。 熔融石英等標(biāo)準(zhǔn)基材以及標(biāo)準(zhǔn)涂層材料在此波長范圍內(nèi)部分表現(xiàn)出高吸收。 為了覆蓋更廣泛的波長范圍,涂層設(shè)計(jì)經(jīng)過特殊配置。

 

2.低損耗反射鏡




平行平面鏡


低損耗鏡應(yīng)以盡可能少的損耗反射激光束。 因此,低損耗反射鏡的反射率為 99.99% 或更高,主要用于電磁輻射的頻率測(cè)量和腔內(nèi)衰蕩 (CRD) 光譜儀。

因此,制造商必須te別注意涂層系統(tǒng)中的吸收源,例如化學(xué)計(jì)量誤差或雜質(zhì)(例如鐵、鉻、銅)。

保持盡可能低的散射光損失也很重要。 它們的大小主要取決于基底和內(nèi)界面的微觀粗糙度以及各層的體積散射光。

LAYERTEC 目前實(shí)現(xiàn)了以下值(LAYERTEC 基材和濺射 LAYERTEC 涂層的組合):

波長

吸收

散射光

355 nm

20 ppm

50 ppm

515 nm

2 ppm

6 ppm

1030 nm

< 1 ppm

4 ppm

1550 nm

< 1 ppm

3 ppm

2950 nm

20 ppm

2 ppm

 

標(biāo)準(zhǔn)情況下,低損耗反射鏡的抗反射層適用于 ? 6.35 毫米至 ? 50.8 毫米的基板幾何形狀。

我們擁有寬帶 CRD 測(cè)量站,可以測(cè)量不同幾何形狀的反射(ppm 分辨率)。

 

3.超快反射鏡

超短激光脈沖包含大量不同波長的同步單個(gè)波。 當(dāng)脈沖激光束穿過光學(xué)系統(tǒng)時(shí),各個(gè)波的波長相關(guān)延遲(色散)會(huì)導(dǎo)致傳播時(shí)間的差異。 結(jié)果,激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 對(duì)于此類激光系統(tǒng),需要使用光學(xué)器件來消除這些傳播時(shí)間 (GDD) 差異。

自 1996 年以來,LAYERTEC 一直為歐洲研發(fā)機(jī)構(gòu)和激光器制造商等生產(chǎn)啁啾反射鏡。在數(shù)百本有關(guān)短脈沖激光技術(shù)開發(fā)的科學(xué)出版物中,LAYERTEC 被稱為定制組件供應(yīng)商。

啁啾電介質(zhì)系統(tǒng)在我們公司進(jìn)行濺射,因此其光學(xué)性能實(shí)現(xiàn)了非常好的長期穩(wěn)定性。 必須考慮以下幾個(gè)方面:

復(fù)雜的啁啾涂層系統(tǒng)應(yīng)應(yīng)用于功能區(qū)域盡可能小的簡單基板幾何形狀。 作為標(biāo)準(zhǔn),我們對(duì)直徑為 12.7 mm – 25 mm 的圓形光學(xué)器件或入射面積為 10 x 40 mm2 – 15 x 45 mm2 的矩形光學(xué)器件進(jìn)行鍍膜。

定制基板幾何形狀是可能的。

我們擁有測(cè)量站來確定 250 – 1700 nm 波長范圍內(nèi)平面線性調(diào)頻光學(xué)器件的色散。

 

3.1啁啾反射鏡


當(dāng)超短激光脈沖通過光學(xué)系統(tǒng)時(shí),其形狀會(huì)發(fā)生變化。 由于色散與波長有關(guān),每個(gè)單獨(dú)的波都會(huì)有不同程度的延遲,并且傳播時(shí)間會(huì)出現(xiàn)差異。 結(jié)果,激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 為了中和這種效應(yīng),使用了啁啾鏡。

LAYERTEC 生產(chǎn)特殊介電系統(tǒng)(反射鏡、泵浦反射鏡、短通或長通濾波器、解耦器等),可根據(jù)客戶要求在 200 – 5000 nm 波長范圍內(nèi)對(duì)相位響應(yīng)(即負(fù)或正 GDD)產(chǎn)生適應(yīng)性影響 。

具有簡單布拉格反射鏡(經(jīng)典 Lambda/4 反射鏡)或更大帶寬的相位校正反射系統(tǒng)稱為啁啾反射鏡。 另一方面,用于僅在幾納米帶寬上具有(高)負(fù) GDD 的 ps 激光器的相位校正鏡被稱為 GTI 鏡。

帶寬與布拉格反射鏡大小相同的啁啾反射鏡通常可以在不增加 GDD 振蕩的情況下進(jìn)行計(jì)算和制造。

所需帶寬越大,GDD的振蕩越強(qiáng)。在這些情況下,我們?cè)瓌t上建議通過啁啾鏡像對(duì)等其他光學(xué)元件對(duì)GDD振蕩進(jìn)行相互補(bǔ)償。


 啁啾反射鏡點(diǎn)擊查看 236條


3.2啁啾鏡對(duì)

啁啾鏡用于補(bǔ)償超短激光脈沖與色散相關(guān)的傳播時(shí)間差。 如果 GDD 曲線中的振蕩很強(qiáng),則需要啁啾鏡對(duì)(由兩個(gè)啁啾鏡組成)。 對(duì)于高帶寬的反射鏡尤其如此。

啁啾鏡的 GDD 曲線并不代表直線曲線,而是顯示振蕩。 其中,這些強(qiáng)度有多強(qiáng)取決于光譜帶寬。 對(duì)于小于同類布拉格鏡帶寬的 GDD 帶寬,振蕩相當(dāng)小。 另一方面,具有高帶寬的反射鏡表現(xiàn)出強(qiáng)烈的 GDD 振蕩。

可以通過使用相應(yīng)的鏡對(duì)來實(shí)現(xiàn)校正。 它們由兩個(gè)具有相反 GDD 曲線的不同涂層介電鏡組成,激光束可以根據(jù)需要在兩個(gè)鏡之間來回反射(見圖)。 這些鏡子針對(duì)小入射角進(jìn)行了優(yōu)化,從而可以實(shí)現(xiàn)大量反射。


點(diǎn)擊查看 啁啾鏡對(duì) 82條

 

3.3  GTI反射鏡

GTI 反射鏡(Gires-Tournois 干涉儀)用于非常窄波長范圍的強(qiáng)時(shí)間對(duì)準(zhǔn)。 這使得它們te別適合緊湊型 ps 激光系統(tǒng)(例如 Yb:YAG 或 Yb:KGW 激光器)。


常見 GTI 鏡像的示例值:

 

波長范圍

反射率 [%]

GDD [fs2]

1020 – 1080 nm

99.9

-250 ±50

780 – 820 nm

99.8

-500 ±75

1040 nm

99.95

-1000 ±100

1030 nm

99.9

-10000 ±1500

 

二十多年來,LAYERTEC 一直為quan球優(yōu)秀的 PS 激光器制造商制造 GTI 反射鏡。

為了增加脈沖功率和/或高重復(fù)率,您還可以通過使用多個(gè) GTI 反射鏡來實(shí)現(xiàn)所需的校正。 對(duì)于極端要求,通常必須在Max. 反射率、GDD 值和損傷閾值之間進(jìn)行折衷。 由于此類系統(tǒng)負(fù)載較重,熱透鏡效應(yīng)問題在損壞之前就已經(jīng)出現(xiàn)。

 

3.4適用于超快應(yīng)用的金屬反射鏡

鋁、銀或金的金屬層一方面具有在寬帶寬上反射光的優(yōu)點(diǎn),另一方面不改變各個(gè)波相對(duì)于彼此的相位位置。 因此,金屬鏡是短脈沖激光光束引導(dǎo)的理想選擇。

額外的介電涂層可保護(hù)金屬層免受與空氣成分(氧氣、硫)的化學(xué)反應(yīng),并具有長期穩(wěn)定性。 同時(shí),可以在有限的光譜范圍內(nèi)提高反射率,而相位響應(yīng)幾乎不受影響。

這種反射增強(qiáng)金屬鏡也經(jīng)常用作掃描儀光學(xué)器件。

 

金屬鏡按型號(hào)529條


4.特殊鏡子

LAYERTEC 提供適用于各種專業(yè)應(yīng)用的反射鏡,例如

? 大帶寬、低色散的金屬反射鏡

? 零相移反射鏡以及相移反射鏡

? 用于弱激光線的諧振鏡

? 赫里奧特池

 

4.1金屬反射鏡

金屬是適用于低激光功率應(yīng)用的成熟反射鏡材料。 它們?cè)趯捁庾V帶寬(尤其是中紅外范圍)內(nèi)提供高反射率,并且與色散相關(guān)的傳播時(shí)間差異可以忽略不計(jì)。

LAYERTEC 采用磁控濺射工藝生產(chǎn)雜散光損耗極低的金屬涂層。

我們生產(chǎn)金反射鏡、銀反射鏡和鋁反射鏡。 對(duì)于銀反射鏡和鋁反射鏡,建議施加額外的保護(hù)層。 這可以防止它們氧化并允許對(duì)其進(jìn)行清潔。

此外,可以通過有針對(duì)性地應(yīng)用其他層來提高特定波長的反射率。

 

4.2零相移反射鏡

在傳統(tǒng)的反射鏡中,入射光束的偏振類型在反射過程中發(fā)生變化。 例如,s偏振光變成p偏振光。 零相移反射鏡確保保持入射光束的偏振類型。 例如,它用于激光材料加工,將激光束從源引導(dǎo)到切割頭。

LAYERTEC 生產(chǎn)波長范圍為 157 – 4500 nm 的零相移反射鏡。 這些分量抵消了反射光束的 s 偏振部分和 p 偏振部分之間的相移。 因此,入射偏振模式被保留

 

類型

波長范圍

R(反射率)

T(透射率)

D(群延遲色散)

入射角

偏振

規(guī)格種類

HR

1030?nm

>?99.9?%

45°

s,p-Pol.

1

 

 

4.3相移反射鏡

相移反射鏡將線偏振光轉(zhuǎn)換為圓偏振光。 這種效應(yīng)在激光材料加工中te別有用,其中線性偏振會(huì)導(dǎo)致與軸相關(guān)的、不均勻的結(jié)果,例如 在切口或鉆孔中。

與波片的工作方式(即在垂直入射下傳輸激光束)相反,相移反射鏡通過反射和 45° 的入射角來工作。 該層系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化,可實(shí)現(xiàn) s 偏振光和 p 偏振光之間的特定相位差。

典型應(yīng)用是在 45° 入射角下使用 λ/4 ? 90° = ?/2 的相位差,為線性偏振的入射光束生成圓偏振輻射。 我們還根據(jù)客戶要求實(shí)現(xiàn)其他價(jià)值。

 

4.4用于弱激光線的諧振器反射鏡

摻釹晶體在不同波長下呈現(xiàn)激光躍遷。 然而,它們的強(qiáng)度各不相同。 如果要發(fā)射與較弱激光躍遷的波長相對(duì)應(yīng)的激光輻射,則必須抑制較強(qiáng)激光躍遷的激光線。

LAYERTEC 提供多種激光反射鏡,其中最強(qiáng)激光躍遷的 1064nm 激光線被抑制,以實(shí)現(xiàn)其他波長的高效激光發(fā)射。 根據(jù)激光設(shè)置,所有涂層均根據(jù)客戶規(guī)格進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。

Nd:YAG

Nd:YVO4

激光波長

二階諧波

激光波長

二階諧波

946 nm

473 nm

915 nm

457 nm

1064 nm

532 nm

1064 nm

532 nm

1123 nm

561 nm

1340 nm

670 nm

1319 nm

659 nm

 

 

 

4.5赫里奧特池鏡

赫里奧特池通過多次反射增加腔內(nèi)激光束的光路,從而可以構(gòu)造緊湊的諧振器。 為此,它們由兩個(gè)焦距相等的球面鏡組成。 赫瑞特池用于縮短激光脈沖。

兩個(gè)諧振器鏡之一具有典型的非中心孔,其用作例如光束(或工藝氣體)的入口和出口。 入口側(cè)和出口側(cè)各有一個(gè)錐形開口,以防止光束被夾住。

內(nèi)部精密光學(xué)制造使我們能夠滿足復(fù)雜的基板規(guī)格。

 

 












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