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1.高功率反射鏡

高功率反射鏡必須能夠承受非常高的輻射功率，并且即使在長時(shí)間的照射下也不能遭受任何損壞。 損傷閾值LIDT是光學(xué)器件電阻的基準(zhǔn)。

LIDT 取決于許多參數(shù)。 層特性（例如熱特性、清潔度、帶隙）和基板特性（例如材料、表面質(zhì)量）必須與應(yīng)用參數(shù)（例如波長、脈沖持續(xù)時(shí)間、重復(fù)率、光束直徑、真空與大氣成分）相匹配。

在激光加工過程中，光學(xué)器件受到三種主要破壞機(jī)制的影響：

? CW – ns → 由于涂層材料內(nèi)的吸收而導(dǎo)致的熱破壞。

? ns – ~20ps → 由于缺陷吸收而局部加熱。

? ~20ps – fs 或更短→ 電離效應(yīng)破壞。

不同脈沖長度下的主要破壞機(jī)制

我們生產(chǎn)的光學(xué)器件具有非常高的破壞閾值。 技術(shù)報(bào)告中總結(jié)了選定 LAYERTEC 光學(xué)器件已確認(rèn)的破壞閾值。

1.1轉(zhuǎn)向鏡

生產(chǎn)過程中（拋光過程）的 45° 橢圓形轉(zhuǎn)向鏡（所謂的“香腸片”）

偏轉(zhuǎn)鏡專門改變?nèi)肷涔獾姆较颉?通過選擇涂層，可以針對(duì)特定波長范圍和特定入射角調(diào)整鏡子的反射率。 此外，鏡子還可以針對(duì)振蕩（偏振）方向和高破壞閾值進(jìn)行優(yōu)化。

LAYERTEC 生產(chǎn)幾乎所有入射角和偏振類型的偏轉(zhuǎn)鏡，無論是針對(duì)一種波長優(yōu)化的布拉格鏡還是寬帶鏡。 例如，根據(jù)要求，可以適應(yīng)高激光功率和/或短脈沖。 此外，還可以計(jì)算涂層在Max. 反射時(shí)的z低損耗或定義的殘余透射率。

高功率反射轉(zhuǎn)向鏡,產(chǎn)品列表210條 點(diǎn)擊查看 (按涂層波長)

1.2諧振器反射鏡

激光諧振腔是激光器的核心。 其中產(chǎn)生激光束。 它由一個(gè)全反射鏡和一個(gè)部分反射鏡組成。 它們之間是有源激光介質(zhì)，由泵浦機(jī)制激發(fā)。

端鏡反射光線幾乎 100%。 輸出鏡具有較低的限定反射率，并且從諧振器釋放激光束。 如果端面鏡還充當(dāng)耦合鏡，則它還具有抗反射層以允許泵浦輻射進(jìn)入。

LAYERTEC 為光譜范圍 130 nm – 7 μm 的所有激光器生產(chǎn)諧振鏡。 根據(jù)激光器類型，使用經(jīng)過多年驗(yàn)證的材料組合和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。 除了網(wǎng)上商店的產(chǎn)品之外，還根據(jù)客戶的要求制造個(gè)性化的特殊反射鏡。

1.3掃描鏡

掃描鏡用于激光材料加工，使激光束在工件上快速靈活地移動(dòng)。 它們的背面通常被磨成片狀。 由于這種特殊的設(shè)計(jì)，它們非常薄且輕，以實(shí)現(xiàn)方向的快速改變。

掃描鏡是 LAYERTEC 產(chǎn)品系列的重要組成部分。 為此目的開發(fā)的層設(shè)計(jì)提供了高性能穩(wěn)定性和必要的反射角不變性。 尤其是金屬基鏡與介電層的組合可增加功率激光器的反射率，從而允許在加工區(qū)域區(qū)域直接成像。

掃描鏡7條 點(diǎn)擊查看

1.4準(zhǔn)分子反射鏡

當(dāng)激光器在紫外范圍內(nèi)使用時(shí)（準(zhǔn)分子激光器），光學(xué)器件會(huì)暴露在非常高的能量下。 此外，準(zhǔn)分子激光器以脈沖模式運(yùn)行，并產(chǎn)生具有高峰值強(qiáng)度的極短脈沖。 因此，準(zhǔn)分子光學(xué)器件必須具有高損傷閾值并且耐用。 準(zhǔn)分子激光器是氣體激光器，通常使用氟進(jìn)行操作。 如果光學(xué)器件暴露在工藝氣體中，則基材和涂層也必須基于氟，否則它們會(huì)溶解。

LAYERTEC 生產(chǎn)適用于所有準(zhǔn)分子激光器的光學(xué)器件（F2 激光器 157 nm、ArF 激光器 193 nm、KrF 激光器 248 nm、XeCl 激光器 308 nm、XeF 激光器 351 nm）。 用于氟基激光器的諧振腔鏡和輸出耦合鏡由帶有氟化物涂層的 CaF2 或 MgF2 基板組成，也可直接與激光氣體接觸使用。 輸出耦合鏡的反射率通常高達(dá) R = 50%。 指出反射率的精度為 ±3%。

157 nm 和 193 nm 的偏轉(zhuǎn)鏡也基于 CaF2 基板上的氟化物層系統(tǒng)。 這保證了高損傷閾值和長使用壽命。 波長為 248 nm 的偏轉(zhuǎn)鏡由石英玻璃基板上的 UV 兼容氧化物層系統(tǒng)組成。 光束傳輸光學(xué)器件可設(shè)計(jì)用于任何入射角。 45° 入射角的偏轉(zhuǎn)鏡可作為標(biāo)準(zhǔn)組件提供。

1.5中紅外反射鏡

MIR 反射鏡適用于中紅外范圍 (1.5 - 8 μm) 的激光輻射。 這種輻射te別容易被碳?xì)浠衔锖退铡?它主要用于醫(yī)療應(yīng)用和塑料加工。

一方面，中紅外范圍內(nèi)的波長是通過直接激光激發(fā)產(chǎn)生的，波長約為 2 μm（Ho:YAG 激光、Tm:YAG 激光）和 3 μm（Er:YAG 激光）。 另一方面，它們可以通過光學(xué)參量頻率轉(zhuǎn)換（周期性極化鈮酸鋰）產(chǎn)生，沒有直接的激光躍遷。 這種光參量振蕩器的發(fā)射范圍延伸至約 8 μm 的波長。

LAYERTEC 為 MIR 系列生產(chǎn)一系列反射和透射光學(xué)元件。 熔融石英等標(biāo)準(zhǔn)基材以及標(biāo)準(zhǔn)涂層材料在此波長范圍內(nèi)部分表現(xiàn)出高吸收。 為了覆蓋更廣泛的波長范圍，涂層設(shè)計(jì)經(jīng)過特殊配置。

2.低損耗反射鏡

平行平面鏡

低損耗鏡應(yīng)以盡可能少的損耗反射激光束。 因此，低損耗反射鏡的反射率為 99.99% 或更高，主要用于電磁輻射的頻率測(cè)量和腔內(nèi)衰蕩 (CRD) 光譜儀。

因此，制造商必須te別注意涂層系統(tǒng)中的吸收源，例如化學(xué)計(jì)量誤差或雜質(zhì)（例如鐵、鉻、銅）。

保持盡可能低的散射光損失也很重要。 它們的大小主要取決于基底和內(nèi)界面的微觀粗糙度以及各層的體積散射光。

LAYERTEC 目前實(shí)現(xiàn)了以下值（LAYERTEC 基材和濺射 LAYERTEC 涂層的組合）：

標(biāo)準(zhǔn)情況下，低損耗反射鏡的抗反射層適用于 ? 6.35 毫米至 ? 50.8 毫米的基板幾何形狀。

我們擁有寬帶 CRD 測(cè)量站，可以測(cè)量不同幾何形狀的反射（ppm 分辨率）。

3.超快反射鏡

超短激光脈沖包含大量不同波長的同步單個(gè)波。 當(dāng)脈沖激光束穿過光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，各個(gè)波的波長相關(guān)延遲（色散）會(huì)導(dǎo)致傳播時(shí)間的差異。 結(jié)果，激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 對(duì)于此類激光系統(tǒng)，需要使用光學(xué)器件來消除這些傳播時(shí)間 (GDD) 差異。

自 1996 年以來，LAYERTEC 一直為歐洲研發(fā)機(jī)構(gòu)和激光器制造商等生產(chǎn)啁啾反射鏡。在數(shù)百本有關(guān)短脈沖激光技術(shù)開發(fā)的科學(xué)出版物中，LAYERTEC 被稱為定制組件供應(yīng)商。

啁啾電介質(zhì)系統(tǒng)在我們公司進(jìn)行濺射，因此其光學(xué)性能實(shí)現(xiàn)了非常好的長期穩(wěn)定性。 必須考慮以下幾個(gè)方面：

復(fù)雜的啁啾涂層系統(tǒng)應(yīng)應(yīng)用于功能區(qū)域盡可能小的簡單基板幾何形狀。 作為標(biāo)準(zhǔn)，我們對(duì)直徑為 12.7 mm – 25 mm 的圓形光學(xué)器件或入射面積為 10 x 40 mm2 – 15 x 45 mm2 的矩形光學(xué)器件進(jìn)行鍍膜。

定制基板幾何形狀是可能的。

我們擁有測(cè)量站來確定 250 – 1700 nm 波長范圍內(nèi)平面線性調(diào)頻光學(xué)器件的色散。

3.1啁啾反射鏡

當(dāng)超短激光脈沖通過光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，其形狀會(huì)發(fā)生變化。 由于色散與波長有關(guān)，每個(gè)單獨(dú)的波都會(huì)有不同程度的延遲，并且傳播時(shí)間會(huì)出現(xiàn)差異。 結(jié)果，激光脈沖變寬并且脈沖能量降低。 為了中和這種效應(yīng)，使用了啁啾鏡。

LAYERTEC 生產(chǎn)特殊介電系統(tǒng)（反射鏡、泵浦反射鏡、短通或長通濾波器、解耦器等），可根據(jù)客戶要求在 200 – 5000 nm 波長范圍內(nèi)對(duì)相位響應(yīng)（即負(fù)或正 GDD）產(chǎn)生適應(yīng)性影響 。

具有簡單布拉格反射鏡（經(jīng)典 Lambda/4 反射鏡）或更大帶寬的相位校正反射系統(tǒng)稱為啁啾反射鏡。 另一方面，用于僅在幾納米帶寬上具有（高）負(fù) GDD 的 ps 激光器的相位校正鏡被稱為 GTI 鏡。

帶寬與布拉格反射鏡大小相同的啁啾反射鏡通常可以在不增加 GDD 振蕩的情況下進(jìn)行計(jì)算和制造。

所需帶寬越大，GDD的振蕩越強(qiáng)。在這些情況下，我們?cè)瓌t上建議通過啁啾鏡像對(duì)等其他光學(xué)元件對(duì)GDD振蕩進(jìn)行相互補(bǔ)償。

 啁啾反射鏡點(diǎn)擊查看 236條

3.2啁啾鏡對(duì)

啁啾鏡用于補(bǔ)償超短激光脈沖與色散相關(guān)的傳播時(shí)間差。 如果 GDD 曲線中的振蕩很強(qiáng)，則需要啁啾鏡對(duì)（由兩個(gè)啁啾鏡組成）。 對(duì)于高帶寬的反射鏡尤其如此。

啁啾鏡的 GDD 曲線并不代表直線曲線，而是顯示振蕩。 其中，這些強(qiáng)度有多強(qiáng)取決于光譜帶寬。 對(duì)于小于同類布拉格鏡帶寬的 GDD 帶寬，振蕩相當(dāng)小。 另一方面，具有高帶寬的反射鏡表現(xiàn)出強(qiáng)烈的 GDD 振蕩。

可以通過使用相應(yīng)的鏡對(duì)來實(shí)現(xiàn)校正。 它們由兩個(gè)具有相反 GDD 曲線的不同涂層介電鏡組成，激光束可以根據(jù)需要在兩個(gè)鏡之間來回反射（見圖）。 這些鏡子針對(duì)小入射角進(jìn)行了優(yōu)化，從而可以實(shí)現(xiàn)大量反射。

點(diǎn)擊查看 啁啾鏡對(duì) 82條

3.3  GTI反射鏡

GTI 反射鏡（Gires-Tournois 干涉儀）用于非常窄波長范圍的強(qiáng)時(shí)間對(duì)準(zhǔn)。 這使得它們te別適合緊湊型 ps 激光系統(tǒng)（例如 Yb:YAG 或 Yb:KGW 激光器）。

常見 GTI 鏡像的示例值：

二十多年來，LAYERTEC 一直為quan球優(yōu)秀的 PS 激光器制造商制造 GTI 反射鏡。

為了增加脈沖功率和/或高重復(fù)率，您還可以通過使用多個(gè) GTI 反射鏡來實(shí)現(xiàn)所需的校正。 對(duì)于極端要求，通常必須在Max. 反射率、GDD 值和損傷閾值之間進(jìn)行折衷。 由于此類系統(tǒng)負(fù)載較重，熱透鏡效應(yīng)問題在損壞之前就已經(jīng)出現(xiàn)。

3.4適用于超快應(yīng)用的金屬反射鏡

鋁、銀或金的金屬層一方面具有在寬帶寬上反射光的優(yōu)點(diǎn)，另一方面不改變各個(gè)波相對(duì)于彼此的相位位置。 因此，金屬鏡是短脈沖激光光束引導(dǎo)的理想選擇。

額外的介電涂層可保護(hù)金屬層免受與空氣成分（氧氣、硫）的化學(xué)反應(yīng)，并具有長期穩(wěn)定性。 同時(shí)，可以在有限的光譜范圍內(nèi)提高反射率，而相位響應(yīng)幾乎不受影響。

這種反射增強(qiáng)金屬鏡也經(jīng)常用作掃描儀光學(xué)器件。

金屬鏡按型號(hào)529條

4.特殊鏡子

LAYERTEC 提供適用于各種專業(yè)應(yīng)用的反射鏡，例如

? 大帶寬、低色散的金屬反射鏡

? 零相移反射鏡以及相移反射鏡

? 用于弱激光線的諧振鏡

? 赫里奧特池

4.1金屬反射鏡

金屬是適用于低激光功率應(yīng)用的成熟反射鏡材料。 它們?cè)趯捁庾V帶寬（尤其是中紅外范圍）內(nèi)提供高反射率，并且與色散相關(guān)的傳播時(shí)間差異可以忽略不計(jì)。

LAYERTEC 采用磁控濺射工藝生產(chǎn)雜散光損耗極低的金屬涂層。

我們生產(chǎn)金反射鏡、銀反射鏡和鋁反射鏡。 對(duì)于銀反射鏡和鋁反射鏡，建議施加額外的保護(hù)層。 這可以防止它們氧化并允許對(duì)其進(jìn)行清潔。

此外，可以通過有針對(duì)性地應(yīng)用其他層來提高特定波長的反射率。

4.2零相移反射鏡

在傳統(tǒng)的反射鏡中，入射光束的偏振類型在反射過程中發(fā)生變化。 例如，s偏振光變成p偏振光。 零相移反射鏡確保保持入射光束的偏振類型。 例如，它用于激光材料加工，將激光束從源引導(dǎo)到切割頭。

LAYERTEC 生產(chǎn)波長范圍為 157 – 4500 nm 的零相移反射鏡。 這些分量抵消了反射光束的 s 偏振部分和 p 偏振部分之間的相移。 因此，入射偏振模式被保留

4.3相移反射鏡

相移反射鏡將線偏振光轉(zhuǎn)換為圓偏振光。 這種效應(yīng)在激光材料加工中te別有用，其中線性偏振會(huì)導(dǎo)致與軸相關(guān)的、不均勻的結(jié)果，例如 在切口或鉆孔中。

與波片的工作方式（即在垂直入射下傳輸激光束）相反，相移反射鏡通過反射和 45° 的入射角來工作。 該層系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，可實(shí)現(xiàn) s 偏振光和 p 偏振光之間的特定相位差。

典型應(yīng)用是在 45° 入射角下使用 λ/4 ? 90° = ?/2 的相位差，為線性偏振的入射光束生成圓偏振輻射。 我們還根據(jù)客戶要求實(shí)現(xiàn)其他價(jià)值。

4.4用于弱激光線的諧振器反射鏡

摻釹晶體在不同波長下呈現(xiàn)激光躍遷。 然而，它們的強(qiáng)度各不相同。 如果要發(fā)射與較弱激光躍遷的波長相對(duì)應(yīng)的激光輻射，則必須抑制較強(qiáng)激光躍遷的激光線。

LAYERTEC 提供多種激光反射鏡，其中最強(qiáng)激光躍遷的 1064nm 激光線被抑制，以實(shí)現(xiàn)其他波長的高效激光發(fā)射。 根據(jù)激光設(shè)置，所有涂層均根據(jù)客戶規(guī)格進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。

4.5赫里奧特池鏡

赫里奧特池通過多次反射增加腔內(nèi)激光束的光路，從而可以構(gòu)造緊湊的諧振器。 為此，它們由兩個(gè)焦距相等的球面鏡組成。 赫瑞特池用于縮短激光脈沖。

兩個(gè)諧振器鏡之一具有典型的非中心孔，其用作例如光束（或工藝氣體）的入口和出口。 入口側(cè)和出口側(cè)各有一個(gè)錐形開口，以防止光束被夾住。

內(nèi)部精密光學(xué)制造使我們能夠滿足復(fù)雜的基板規(guī)格。