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特殊衍射光柵  

特殊衍射光柵
產(chǎn)品特征:? 特殊的衍射波前誤差? 全光圈均勻度高? 堅固的蝕刻結(jié)構(gòu)? 優(yōu)秀的特征定位精度?可能實現(xiàn)兩個維度上的空間變化周期產(chǎn)品應(yīng)用:啁啾脈沖放大波束組合精密定位與計量用于高強度激光器的球形和圓柱形聚焦元件產(chǎn)品參數(shù):產(chǎn)品參數(shù)規(guī)格尺寸高達(dá)920mm×600mm周期/頻率200 nm – 20 μm / 50 – 5,000 lines/mm深度10 – 5,000 nm (取決于周期/頻率)衍射波前誤差< λ /4PV(typ.RMS<1nm/inch!)基底材料種類多(Shou選熔融石英)涂層材料種類多(金屬和電介質(zhì)) Plymouth Grating Lab Shou次商業(yè)化掃描束干涉光刻(SBIL),最初由麻省理工學(xué)院開創(chuàng),用于生產(chǎn)具有出色均勻性、高激光損傷閾值和真空低應(yīng)力的米級多層電介質(zhì)(MLD)衍射光柵。PGL隨后將其技術(shù)擴展到包括金屬反射光柵、透射光柵、二維光柵,甚至包括……


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產(chǎn)品型號 6
貨號 操作 名稱
多層介質(zhì)(MLD)衍射光柵   [PDF] 光柵類型:反射型 衍射效率:典型.95– 98% 衍射波前誤差:< 1 /3(取決于尺寸) 激光損傷閾值:2.5 J/cm2@1054 nm; 10 ps 帶寬:典型. 30-40 nm    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
高能激光光譜光束合成光柵   [PDF] 光柵類型:多層介質(zhì)(MLD)反射 衍射效率:典型.96– 99% 衍射波前誤差:< λ / 4(與尺寸相關(guān)) 激光損傷閾值:100's of kW / cm2 帶寬:> 50 nm (Typ. 1030-1080 nm) 偏振態(tài):非偏振(TE和TM)    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
透射衍射光柵   [PDF] 衍射效率:典型.93– 96% 衍射波前誤差:< λ / 4(大小相關(guān)) 激光損傷閾值:15 J/cm2 @1054 nm; 10 ns 帶寬:典型. 10's to > 100 nm    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
鍍金衍射光柵   [PDF] 光柵類型:反射型 衍射效率:典型.95– 98% 衍射波前誤差:< 1 /3(取決于尺寸) 激光損傷閾值:2.5 J/cm2@1054 nm; 10 ps 帶寬:典型. 30-40 nm    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
混合金屬-電介質(zhì)衍射光柵   [PDF] 光柵類型:反射型 衍射效率:典型.93 – 96% 衍射波前誤差:< 1 /3(取決于尺寸) 激光損傷閾值:TBD* 帶寬:可高達(dá)200nm    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
二維(2D)衍射光柵   [PDF] 光柵類型:透射或反射型 衍射效率:多階Multi-Order 衍射波前誤差:< λ /4(取決于尺寸) 激光損傷閾值:中-高(取決于類型) 帶寬:低(典型.單波長)    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
總覽

產(chǎn)品特征:

? 特殊的衍射波前誤差

? 全光圈均勻度高

? 堅固的蝕刻結(jié)構(gòu)

? 優(yōu)秀的特征定位精度

?可能實現(xiàn)兩個維度上的空間變化周期

產(chǎn)品應(yīng)用:

啁啾脈沖放大

波束組合

精密定位與計量

用于高強度激光器的球形和圓柱形聚焦元件


產(chǎn)品參數(shù):


產(chǎn)品參數(shù)

規(guī)格

尺寸

高達(dá)920mm×600mm

周期/頻率

200 nm – 20 μm / 50 – 5,000 lines/mm

深度

10 – 5,000 nm (取決于周期/頻率)

衍射波前誤差

< λ /4PV(typ.RMS<1nm/inch!)

基底材料

種類多(Shou選熔融石英)

涂層材料

種類多(金屬和電介質(zhì))

 

Plymouth Grating Lab Shou次商業(yè)化掃描束干涉光刻(SBIL),最初由麻省理工學(xué)院開創(chuàng),用于生產(chǎn)具有出色均勻性、高激光損傷閾值和真空低應(yīng)力的米級多層電介質(zhì)(MLD)衍射光柵。PGL隨后將其技術(shù)擴展到包括金屬反射光柵、透射光柵、二維光柵,甚至包括由曲線組成的聚焦光柵。我們的重點是激光光柵和激光系統(tǒng),應(yīng)用于科學(xué)研究、工業(yè)、醫(yī)療、國防和半導(dǎo)體市場。PGL不僅在光柵寫入方面,而且在光學(xué)涂層、反應(yīng)離子蝕刻、光學(xué)計量以及大型光學(xué)器件的精密清潔、檢查和處理方面都發(fā)展了特殊的專業(yè)知識。

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產(chǎn)品詳細(xì)信息


下表說明了常見類型的PGL光柵的規(guī)格典型值和范圍。

PGL的不一樣功能使得以與標(biāo)準(zhǔn)直線光柵相同的效率、均勻性和可重復(fù)性制造具有可變周期和凹槽方向的光柵,從而實現(xiàn)啁啾和聚焦光柵。

image.png

產(chǎn)品參數(shù)

多層電介質(zhì)(MLD)光柵

鍍金光柵

透射光柵

2D光柵

光柵類型

反射型

反射型

透射型

反射型或者透射型

衍射效率

典型值.95-98%

典型值.91-94%

典型值.93-96%

多階(Multi-order)

波前誤差[1]

λ/3

λ/4

λ/4

λ/4

激光損傷閾值

高(2.5J/cm2 1054nm 10ps)

中(0.25J/cm2 800nm 100fs)

高(15J/cm2 1054nm 10ns)

中到高(取決于尺寸

帶寬

中(典型值.30-40nm)

高(高達(dá)200nm)

中到高(10s到>100nm))

低(典型值.單波長)

Max. 尺寸[2]

920mm×600mm

920mm×600mm

470mm×470mm

920mm×600mm

[1] 取決于基板尺寸和縱橫比

[2] 主要受當(dāng)前納米尺配置的限制,但受蝕刻設(shè)備限制的較深透射光柵除外











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