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極紫外光源  

極紫外光源
EUV 光源高占空比和交鑰匙操作(用戶友好且具有自動化協(xié)議,確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行,無風(fēng)險和中斷)


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 西北華中華東華南 Daisy
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 華北西南東北 Moli
13061644116 同微信 可掃碼  info@microphotons.com
產(chǎn)品型號 3
貨號 操作 名稱
TEUS S-200 極紫外光源   [PDF] 激光平均功率:200W;脈沖重復(fù)率:50kHz或135kHz(可調(diào));等離子體穩(wěn)定性:3% RMS    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
TEUS S-100 極紫外光源   [PDF] 激光平均功率:100W;脈沖重復(fù)率:25kHz或70kHz(z高);等離子體穩(wěn)定性:3% RMS    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
TEUS S-400 極紫外光源   [PDF] 激光平均功率:400W;脈沖重復(fù)率:100kHz或200kHz(可調(diào));等離子體穩(wěn)定性:3% RMS    價格 : ¥0 庫存/貨期:請咨詢客服
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EUV 光源
高占空比和交鑰匙操作(用戶友好且具有自動化協(xié)議,確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行,無風(fēng)險和中斷)

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 高亮度(意味著高吞吐量)以及出色的穩(wěn)定性

? jue對Min. 碎片

? 很高的正常運(yùn)行時間


產(chǎn)品應(yīng)用

? 掩膜及表面檢查:

? 模板檢查(PMI)

? 區(qū)域掩模檢驗(yàn)(AIMS)

? 掩??誦ai檢驗(yàn)(MBI)

? 極紫外光學(xué)鏈中的極紫外掃描儀檢測

? 材料科學(xué)

? 晶片光刻檢驗(yàn)











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