基于激光GHz聲波振動(dòng)觀測(cè)系統(tǒng) 500MHz-6GHz.pdf
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振動(dòng)檢測(cè)方法：基于Sagnac干涉儀的振動(dòng)檢測(cè)(峰值頻率靈敏度：5GHz)； 振動(dòng)觀察法：用激光光束探測(cè)的臺(tái)控掃描觀測(cè)(面外振動(dòng))； 觀測(cè)光源：二極管激光器(波長(zhǎng)：650nm典型)照明LED； 可用物鏡：×20、×50、×100 物鏡； 可觀察到的頻率：500MHz ～ 6GHz (Typ.)； 驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入范圍：500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) ； Max. 可分析區(qū)域：25mm × 25mm； 容許工作量Max. 8英寸晶圓片； 樣品臺(tái)：電動(dòng)X-Y型載物臺(tái)
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基于激光的觀測(cè)系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)用于顯示基于電介質(zhì)/壓電的高頻設(shè)備的表面聲波 surface acoustic wave（SAW）和體聲波 Bulk Acoustic Wave（BAW），如SAW濾波器（Interdigital Transducer 叉指換能器 IDT）和薄膜體聲波諧振器（FBAR）
適用于不同頻率下物理聲波傳播的分析
短時(shí)間廣域觀測(cè)
圖像 FFT & IFFT 處理
觀察示例
IDT
FBAR
參數(shù)
振動(dòng)檢測(cè)方法 | 基于Sagnac干涉儀的振動(dòng)檢測(cè)(峰值頻率靈敏度:5GHz) |
振動(dòng)觀察法 | 用激光光束探測(cè)的臺(tái)控掃描觀測(cè)(面外振動(dòng)) |
觀測(cè)光源 | 二極管激光器(波長(zhǎng):650nm典型)，照明LED |
可用物鏡 | ×20、×50、×100 物鏡 |
可觀察到的頻率 | 500MHz ～ 6GHz (Typ.) |
驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸入范圍*1 | 500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2 |
Max. 可分析區(qū)域 | 25mm × 25mm |
容許工作量 | Max. 8英寸晶圓片 |
樣品臺(tái) | 電動(dòng)X-Y型載物臺(tái) |
主要軟件功能 | 基于采樣階段控制的預(yù)設(shè)區(qū)域掃描觀測(cè) |
2維 ? 3維觀察結(jié)果指示(in Movie) | |
二維FFT?FFT圖象處理 | |
基于FFT結(jié)果的特定振動(dòng)共振模式濾波 | |
面外軸傾角校正 | |
基于預(yù)設(shè)頻率表的連續(xù)數(shù)據(jù)采集 | |
構(gòu)造 | 主體/電氣單元/信號(hào)發(fā)生器/鎖相放大器/級(jí)驅(qū)動(dòng)器/ PC /軟件 |
*1 提供高頻探測(cè)裝置。(手動(dòng)探測(cè)) *2 提供輸入信號(hào)放大器。 | |
營(yíng)業(yè)執(zhí)照