極紫外和軟x射線輻射EUV顯微鏡 (Metrology計量學(xué) 無損亞納米級次表面成像).pdf
×
復(fù)制成功
微信號：13061644116
添加微信好友，了解更多產(chǎn)品詳情。
無損成像；反射成像；軸向分辨率（厚度）：<30nm；軸向位置精度：<1nm；最大深度：<1μm；高材料對比度
?因產(chǎn)品升級或技術(shù)原因,產(chǎn)品配圖可能有出入,具體請咨詢客服!
| 貨號 : E80100170 | |
| 庫存 : 請咨詢客服 | |
| 貨期 : 請咨詢客服 | |
| 點右側(cè)在線咨詢 | |
三維無損成像技術(shù)在材料科學(xué)和醫(yī)學(xué)等許多應(yīng)用領(lǐng)域都非常重要。我們開發(fā)了一種成像技術(shù)，利用極紫外和軟x射線輻射來獲得納米分辨率的橫截面圖像。
例如，我們能夠無損地研究硅片或生物樣品中的近表面結(jié)構(gòu)。
在下邊的圖片中，你可以看到幾個埋在硅下的金層。它們的位置可以用我們的計量儀測量，精度低于1nm。這些層位于表面下的110 nm和128 nm處。
關(guān)鍵信息
● 無損成像
● 反射成像
● 軸向分辨率（厚度）<30nm
● 軸向位置精度<1nm
● Max深度<1μm
● 高材料對比度
● 易于安裝樣品
營業(yè)執(zhí)照
<form id="wc850"></form>