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IXY100CA 雙軸中空運動平臺


行程:100mm;精度:1.0μm;重復定位精度(3σ):0.5μm;運動分辨率:AA: 10nm;DS: 200nm;最大速度:200mm/s;最大加速度 :0.5g;水平方向直線度:2μm;垂直方向直線度:2μm;偏航角:15μrad;俯仰角:50μrad;裝載質量:10kg

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IXY100CA雙軸中空運動平臺

通用參數(shù)

                         


技術參數(shù)

型號

IXY100CA

行程

100mm

精度

1.0μm

重復定位精度(3σ)

0.5μm

運動分辨率 *1

AA: 10nm

DS: 200nm

最大速度 *2

200mm/s

最大加速度 *2

0.5g

水平方向直線度

2μm

垂直方向直線度

2μm

偏航角

15μrad

俯仰角

50μrad

裝載質量 *3

10kg

 

*1 針對不同的控制器、驅動器、環(huán)境振動和結構的系統(tǒng)設計可實現(xiàn)不同的運動分辨率,歡迎垂詢。

*2 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統(tǒng)設計可實現(xiàn)不同的速度和加速度,歡迎垂詢。


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