桌面臺式無掩模光刻系統(tǒng) 電動(dòng) PALET DDB-701-DL.pdf
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載物臺：電動(dòng) XYZθ；曝光光源：365nm (typ.) LED；Min. 線寬3μm 或 115μm； 單次曝光面積：1mm×0.6mm 或5mm×3mm；每張照片曝光時(shí)間：1～2 sec. 或 15～30 sec. ；Max. 曝光區(qū)域：25mm×25mm(自動(dòng)連接)；可接受的工作尺寸：60mm ×60mm (t3mm)；相容文檔格式：DXF JPEG PNG BITMAP XPS； 主體尺寸：300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)
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| 貨號 : E80100175 | |
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桌面尺寸無掩模(直接曝光)光刻系統(tǒng)，通過其復(fù)雜的軟件支持簡單的光刻操作。
硬件特性
小型化
內(nèi)置隔振機(jī)構(gòu)和真空吸油泵
只需要電源和光刻間
軟件特性
用戶方便型接口
簡易流程
支持對準(zhǔn)和暴露條件檢查*限制電動(dòng)載物臺模型
曝光示例
電路/傳感器模式
| 電路圖 | 晶體管圖案 | 磁性傳感器模式 |
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三維結(jié)構(gòu)*×2 僅物鏡
高向柱結(jié)構(gòu) | 厚膜流體路徑結(jié)構(gòu) | 胚胎干細(xì)胞培養(yǎng)結(jié)構(gòu) |
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型號 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
載物臺(Stage) | 手動(dòng) XYZθ載物臺 | 電動(dòng) XYZθ載物臺 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 線寬 | 3μm *1 | |
單次曝光面積 | 1mm×0.6mm *1 | |
每張照片曝光時(shí)間*3 | 1～2 sec. *1 | |
Max. 曝光區(qū)域 | 25mm×25mm(手動(dòng)連接) | 25mm×25mm(自動(dòng)連接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文檔格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主體尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主機(jī)重量 | 30kg | |
*1在使用×10物鏡的情況下
*2在使用×2物鏡的情況下
*3曝光時(shí)間基于AZP系列光刻膠(t0.5mm)
| 名稱 | 型號貨號 | 描述 | 價(jià)格 |
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營業(yè)執(zhí)照