行程:X 450mm;Y 450mm ;T 360;負載:10kg;定位精度:3um;運動分辨率:100nm;最大速度:1000mm/s;最大加速度:X 2g; Y 1g;水平方向直線度:3um;豎直方向直線度:3um
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XYT450 精密運動系統(tǒng)
產(chǎn)品特點
直線電機驅(qū)動,速度 1m/s,最大加速度 2g
高剛性滾柱導(dǎo)軌,10kg 承載
高精度光柵尺反饋,亞微米級分辨率
全封閉防塵設(shè)計(無塵拖鏈)
型號 | XYT450M | ||
軸 | X | Y | T |
行程 | 450mm | 450mm | 360 |
負載1 | 10kg | ||
定位精度 | 3um | 3um | |
重復(fù)定位精度(3σ) | 2um | 2um | ±3arcsec |
運動分辨率2 | 100nm | 100nm | 0.0005deg |
最大速度3 | 1000mm/s | 1000mm/s | |
最大加速度3 | 2g | 1g | |
水平方向直線度 | 3um | 3um | 徑跳10um |
豎直方向直線度 | 3um | 3um | 軸跳10um |
XY正交 | 10arcsec | ||
平臺質(zhì)量 | 約1000kg |
*1 歡迎與廠家工程師團隊交流具體裝載質(zhì)量等參數(shù)要求,優(yōu)化高精密運動平臺設(shè)計。
*2 針對不同的控制器、驅(qū)動器、環(huán)境振動和結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的運動分辨率。
*3 針對不同承載重量、控制器、驅(qū)動器的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的速度和加速度。
*XYT450 精密運動系統(tǒng)可定制 Z 軸、基座等