IXY 系列雙軸高精密運動平臺.pdf
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IXY100： 行程100mm； 光柵尺類型-P： Invar Based Scale；編碼器輸出AA： Sin/Cos；電纜輸出-CMS： With CMS Box
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| 貨號 : E80100007 | |
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卓越的高精密運動臺設(shè)計: IXY系列高精密運動平臺優(yōu)化了高剛性和高動態(tài)性能設(shè)計，滿足最高動態(tài)性能要求的各種應(yīng)用，是適用于光學(xué)、生化、電子制造等領(lǐng)域的理想的雙軸高精密運動系統(tǒng)。
卓越的精度和穩(wěn)定的性能: IXY系列運動平臺具有高精度和高運動性能等特點。瑞熒公司基于高精度機械和運動控制相結(jié)合的先進整體系統(tǒng)設(shè)計，生產(chǎn)出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運動平臺。
產(chǎn)品特點
結(jié)構(gòu)精巧的雙軸高精密運動平臺
雙電機可實現(xiàn)高產(chǎn)量
高剛性，良好的兼容性
導(dǎo)向精度高，精zhun定位
產(chǎn)品應(yīng)用
二維激光加工
激光直寫
光學(xué)測量
自動顯微鏡
IXY100 | IXY200 | |
行程 | 100mm | 200mm |
精度 | -P: 1.0μm -C: 1.5μm | -P: 1.5μm -C: 2.0μm |
重復(fù)定位精度(3σ) | -P: 0.3μm -C: 0.6μm | -P: 0.5μm -C: 0.8μm |
運動分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s | 300mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g | 0.5g |
水平方向直線度 | 1.5μm | 3μm |
垂直方向直線度 | 2μm | 4μm |
偏航角 | 15μrad | 30μrad |
俯仰角 | 50μrad | 100μrad |
裝載質(zhì)量 *3 | 10kg | 20kg |
*1 針對不同的控制器、驅(qū)動器、環(huán)境振動和結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的運動分辨率，歡迎垂詢。
*2 針對不同承載重量、控制器、驅(qū)動器的系統(tǒng)設(shè)計可實現(xiàn)不同的速度和加速度，歡迎垂詢。
*3 歡迎與瑞熒公司工程師團隊交流具體裝載質(zhì)量等參數(shù)要求，優(yōu)化高精密運動平臺設(shè)計。
型號示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型號說明:
系列 | 行程 | 光柵尺類型 | 編碼器輸出 | 電纜輸出 |
IXY | 100: 100X100 | -P: Invar Based Scale | AA: Sin/Cos | -CMS: With CMS Box |
200: 200X200 | -C: Gold Tape Scale | DS: 100nm A/B/Z | -C01: 1m Cable | |
DC: Customize | -C03: 3m Cable |
1、根據(jù)精密運動平臺參數(shù)和應(yīng)用要求，提供不同的控制系統(tǒng)方案。
2、精密運動臺端口和電機參數(shù)兼容常見運動控制卡及驅(qū)動器。
| 系列 | S | A | H | M |
IXY100 | 100 | 255 | 102 | 150 |
IXY200 | 200 | 365 | 102 | 200 |
| 單位 | (unit in mm) |
| 名稱 | 型號貨號 | 描述 | 價格 |
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營業(yè)執(zhí)照